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CRF plasma 等離子清洗機

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誠峰小型crf等離子清洗機3個方面的使用方法

一、誠峰小型crf等離子清洗機使用操作流程
1.進入“主機界面”,點擊“下一頁”進入“功能畫面”選擇“參數頁面”修改清洗時間或清(除)清洗數據。
2.點擊“下一頁”進入“手動頁面”將氧氣氬氣閥門設置為打開狀態,返回主機界面。
3.誠峰小型crf等離子清洗機調節功率,功率調節范圍80%-100%,根據實驗需求進行調節。
4.誠峰小型crf等離子清洗機將被處理物放置等離子清洗機真空腔內,關好腔門,按下啟動按鈕,開始抽真空。
5.待腔體產生輝光,根據實驗需求,手動調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。
6.到達處理時間后,平衡閥自動復原,3秒左右恢復常壓,無進氣聲響時,腔門自動打開。
7.打開腔門,取出被處理物,一個處理過程結束。
溫馨提示:以上各命令都可在鍵下終止,回到復位狀態。所有數字量都可自由調整,確認鍵后記憶保存,斷電不丟。

等離子清洗機

二、誠峰小型crf等離子清洗機手動狀態下運行處理的方法:
1.crf等離子清洗機調節功率,功率調節范圍80%-100%,根據實驗需求進行調節。
2.將被處理物體放置到倉內,關好倉門,按下啟動鈕,開始抽真空。
3.真空度達到要求時,按下射頻電源鈕(打開狀態為:黃色燈亮“開”),加入射頻高壓,處理過程開始。
4.待腔體產生輝光,根據實驗需求,打開氧氣氬氣閥門開關(打開狀態為:黃色燈亮“開”),手動調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。
5.到達處理時間后,復原平衡閥鈕,3秒左右恢復常壓,無進氣聲響時,腔門自動打開。
6.打開腔門,取出被處理物,一個處理過程結束。
溫馨提示:在手動狀態下,可設定氧氣閥、氬氣閥、真空泵、射頻電源、平衡閥的開關選擇,進行數據工作。
三、誠峰小型crf等離子清洗機使用氣體時需注意的事項:
1.crf等離子清洗機在觸摸屏的手動畫面打開氣閥;
2.誠峰小型crf等離子清洗機腔內激發輝光后,再扭開流量計注入;
3.兩路氣體,機體前面板上的流量計與機體背面的氣孔口為對應一致接入工作。

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